1、采購標的需實現的功能或者目標

穆勒矩陣橢偏儀可通過穆勒矩陣、橢偏參數、透射/反射率等參數的測量，實現各種光學薄膜和納米結構的幾何形貌參數和光學特性參數的表征分析，特別適用于各向異性薄膜材料的測量表征、材料新特性和新物理現象的描述分析。

軟件具有多類薄膜和納米結構建模功能，可實現周期性納米光柵建模仿真測試，具備常見材料光學常數數據庫、常用振子模型（柯西模型、洛倫茲模型、高斯模型等），支持多組分薄膜與體材料光學常數、折射率梯度分布、等效介質模型，支持圖形化多振子混合模型擬合功能，支持用戶自定義光學材料庫。

2、執行標準和規范

GB/T 31225-2014 橢圓偏振儀測量硅表面上二氧化硅薄層厚度的方法

JJF 1932-2021 橢偏儀校準規范

    實用新型專利: 一種光譜橢偏裝置【L202223363532.0】

    發明專利:一種雙旋轉補償器穆勒矩陣橢偏儀系統控制【ZL201911369716.8】

發明專利: 一種基于橢偏儀待測樣件參數測量方法【ZL202011233872.4】

3、需滿足的質量、安全、技術規格、物理特性

質量把控： 供應商應嚴格按照行業SOP標準，對原材料進行嚴格的質量管控，嚴格執行設備出廠流程，做好設備性能指標以及運行可靠性的保障。

安全注意事項：1）儀器出現異常時，請根據計算機上的錯誤顯示窗口中顯示的錯誤信息，嘗試將儀器恢復到正常工作狀態。如果儀器無法恢復正常，請與本公司客服聯系； 2) 在儀器出現異味、異樣的聲音、冒煙等異常情況時，請迅速切斷電源，使儀器停止運行；3) 在長期不使用儀器的情況下，請切斷儀器總電源。此外，在長期停止工作后再次啟動儀器時，請在例行檢查之后，再接通儀器的電源。

技術規格：

物理特性：供電電源電壓：220V AC；正常頻率范圍：49~51Hz；相電流：有效值小于 4A（220V AC）；功率：小于880 W。

4、采購數量、時間、地點

1臺；2024年6月；遼寧材料實驗室

5、需滿足的服務標準、期限、效率等要求

設備質量保證期為驗收之日起12個月，在接到用戶故障信息后要求4小時內響應，1個工作日排除故障，48小時內安排工程師上門；保修期內，供貨方向采購方免費提供及時的維修服務和維修所必須的零配件；設備保修期過后，要求能終身提供廣泛優惠的技術支持。

6、驗收標準

按照設備技術協議規定的性能參數驗收：

1. ▲偏振測量參數：Psi：0-90°，Delta：-90-270°，16組Muller Matrix

2. 光譜范圍：380-1000nm

3. 調制技術：雙旋補償器PCr1SCr2A調制技術

4. 測量時間：＜15秒，全流程時間

5. ▲微光斑尺寸：200μm（短軸），配置雙安全自動識別傳感器

6. 測量角度：45-90°，自動變角

7. 找焦功能：0-20mm，自動找焦

8. 可視化調平系統：支持樣件臺可視化輔助對準調平

9. ★膜厚重復精度：優于0.005nm（100nm SiO2/Si，30repeats，1σ）

10. ★折射率重復精度：優于0.0002（n @632.8nm，100nm SiO2/Si，30repeats，1σ）

11. ★絕對精度：穆勒矩陣非對角元素優于m=0±0.005（測量空氣， 90%滿足）

12. ★退偏精度優于：±0.5%（測量裸硅，全波段90%滿足）

13. ▲退偏態修正：修正半峰寬Bandwidth，厚度不均勻Non-uniformity及非零級光散射Angular等退偏態

14. 樣品臺：具備X/Y/Z/Rz、俯仰五維可調，支持Ф200mm樣件真空吸附固定測量

15. ▲數據建模：多種數據擬合度（MSE/GOF/nGOF）評價方式；軟件同界面數據文件夾結構化批量管理，一次調用海量數據數秒內批量處理并導出分析報告

16. ▲光柵測量：測量一維/二維周期納米光柵得到結構尺寸值信息，包含光柵頂寬TopCD、底寬BottomCD、傾斜角Offset、套刻誤差Overlay、頂弧Topfillet、底弧Bottomfillet等信息；

17. 分析軟件：Recipe測量模式（Repice編輯保存及一鍵調用），多達數百種的光學材料常數數據庫，用戶自定義光學材料庫；具備折射率梯度分布Grade建模，光學各向異性建模仿真與分析功能，至少5個授權軟件許可

18. 分析電腦：CPU: ≥雙核處理器，RAM: ≥8G，ROM: ≥1024G，顯示器: ≥19寸，windows系統

7、其他技術、服務等要求

7.1、技術資料

供應商保證提供完整的技術資料，包括設備使用手冊、數據分析手冊、出廠報告、產品合格證等資料，符合合同約定并且能夠滿足設備的安裝、調試、驗收、操作以及維修和保養的需要。

2、設備安裝、調試和驗收

2.1當貨物到達采購人指定的交貨地點后，采購人及成交供應商依據設備供貨清單共同對設備進行開箱驗收，并對設備的數量、型號、外觀等進行逐項檢查。如采購人發現所提供設備不符合合同要求時，或有損壞，采購人有權向供應商提出退換和索賠；

2.2 如設備安裝有特殊要求，供應商應在合同簽訂后一周內以書面形式向采購人提出安裝場地要求，并對采購人就安裝場地的咨詢提供技術支持；

2.3 在設備到達采購人場地后，供應商應盡快組織完成整套設備的安裝、調試；安裝、調試完畢并通過采購人最終驗收后，供應商可向采購人提出驗收申請，由采購人組織有關人員進行驗收。

2.4 采購人及成交供應商簽署驗收文件，根據驗收文件對設備進行驗收。

3、技術培訓

3.1 在采購人所在地由供應商專業工程師免費對采購人進行軟硬件操作技術培訓，內容包括設備的技術原理、操作、數據處理和基本維護等，直至采購人能獨立操作為止。

3.2 采購人獨立使用后三個月，按采購人要求由工程師進行集中問題解答；采購人獨立使用后半年至一年，由應用專家進行深入培訓和優化操作。

3.3 培訓費用：所發生的培訓費用由供應商承擔。