一、項目名稱：蜂巢傳動科技河北有限公司模組封裝項目一期掃描電子顯微鏡&;射線能譜儀
二、項目概況與招標范圍
本次招標采購主要內容為掃描電子顯微鏡&;射線能譜儀共一套，滿足模組檢驗需求。
三、技術要求
掃描電子顯微鏡 套：
.主機；
.電子槍類型：熱場發射電子槍；
.探測器： 鏡筒內二次電子探測器、樣品室二次電子探測器、背散射電子探測器、紅外/導航；
.分辨率: 對應分辨率達到或優于 .;或者 對應分辨達到或優于.;分辨率： 對應分辨率優于. ；
.電壓：達到或優于.-；
.束流：達到或優于；
.物鏡光闌：孔徑數量不少于孔；
.載物臺：樣品臺驅動：軸馬達驅動、軸: 大于或等于、軸: 大于或等于、軸：大于或等于 ；
旋轉角度：可連續調度
傾斜角度：大于或等于~度
承重：
樣品倉承裝樣品尺寸：直徑大于等于
高度大于等于 ；
.低真空模式：能優于；
.磁性要求： 不漏磁，可測磁性材料；
.其他參數要求：軟件滿足測量的基本幾何元素包含：線、角；文件類型：、 或 ；
操作主機：操作系統、鍵盤、光學鼠標， 位圖形用戶界面英寸 顯示屏、多功能控制板、單幀圖像最大存儲分辨率: 優于*。
射線能譜儀 套：
.進口品牌能譜儀；
、探測器：分析型硅漂移電制冷探測器
元素分析范圍：大于或等于~
晶體有效面積：
能量分辨率：、 保證優于(@計數率,);能量分辨率符合 :標準
支持線掃描、點掃描以及面掃描；
電源：可支持供電小時。
否決項
.品牌：....
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