一、項目信息 采購人：山東大學 項目名稱：山東大學高溫高能離子注入機采購 擬采購的貨物或服務的說明：離子注入是對半導體表面附近區域進行摻雜的技術，可改變半導體的載流子濃度和導電類型，且在注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴散等方面進行精確的控制。該離子注入設備可實現、、、等元素摻雜，注入劑量范圍～ /，注入不均勻性片內≤±.%/片間≤±.%，單電荷最高加速電壓為 ，束流發散角度≤.°（@英寸）。 擬采購的貨物或服務的預算金額：萬元 采用單一來源采購方式的原因及說明：需離子注入設備提供單價離子加速電壓- ，二價離子可達 三價離子可達. 。最大束流：≥ μ@ ，束流平行度≤±.°（@ ″），注入劑量～ /；測試精度：≦±.%；注入不均勻性：片內≤±.%，片間≤±.%。具備成熟的反轉靜電吸附設計，同一設備可兼具對應高溫℃以上注入工藝和常溫注入工藝，工藝切換時間不得大于分鐘；提供能抑制離子束的發散、能進行精細的掃描波形的控制，可得到約°的大的掃描角的離子注入裝置。其他品牌產品不能同時滿足單價離子加速電壓最高、高低溫工藝切換時間不得大于分鐘、°掃描角的使用技術要求，因此只能采購進口產品。 二、擬定供應商信息 名稱：蘇州科銳芯機電科技有限公司 地址：蘇州吳中經濟開發區城南街道東吳南路號幢室 三、公示期限 年月日至年月日（公示期限不得少于個工作日） 四、其他補充事宜：無 五、聯系方式 .采購人：山東大學 聯 系 人：田主任 聯系地址：山東大學中心校區明德樓 聯系電話：- .采購代理機構：山東省魯成招標有限公司 聯 系 人：　王青東　 聯系地址：濟南市經十東路號成城大廈座 聯系電話：-
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