項目概況 太原理工大學集成電路學院半導體微納加工平臺設備項目的潛在投標人應在山西政府采購平臺（://.../-/#/）上獲取招標文件，并于年月日時分（北京時間）前在“山西政府采購平臺”投標人端提交投標文件。 一、項目基本情況.項目編號：（--）.項目名稱：太原理工大學集成電路學院半導體微納加工平臺設備.采購計劃文號：----.采購方式：公開招標.預算金額：.元.最高限價：.元.采購需求：本次招標共包，參與投標的投標人應按照招標文件要求按包編制投標文件，提交的投標文件應實質性上響應本招標文件的要求。序號標的名稱數量單位簡要技術需求備注*反應離子刻蝕機臺反應離子刻蝕機常用于刻蝕電介質等化學鍵能較大的材料，是一種廣泛用于芯片制造刻蝕的工藝，能夠以極高的精度和對材料的最小損傷來刻蝕晶圓材料。主要用途：主要應用再微電機系統（）光電子器件納米材料研究等領域，用來進行介質，有機物材料的刻蝕。主要技術指標：刻蝕速率：≥/； 刻蝕角度：°±°；選擇比：&;:() ；刻蝕均一性：%。臺式高質量金屬\有機物熱蒸發鍍膜平臺套應用范圍非常廣泛，幾乎涵蓋了現代工業和日常生活的各個方面。臺式高質量金屬\有機物熱蒸發鍍膜平臺在集成電路制造中，真空鍍膜設備用于制造薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。我課題組在開展高性能薄膜制備，該設備用于制備：、、 等低熔點金屬或有機物。廣泛應用于物理、生物、化學、材料、電子等領域，可沉積單層膜/多層膜。熱蒸鍍技術是工業鍍膜的主要技術之一，易于科研成果轉化，是新技術向工業領域推廣的最經濟有效的方法之一。是否允許代理商參加是是否接受聯合體參加否是否允許合同分包否合同履約期限自合同簽訂之日起個工作日內完成所供貨物的運輸、安裝、調試，達到技術驗收標準；對所供貨物的免費配套服務期限按合同條款執行。履約地點山西省晉中市....