全自動晶圓級測試探針臺 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 全自動晶圓級測試探針臺 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -半導體器件參數測量儀 采購需求概況 ： 采購標的名稱：全自動晶圓級測試探針臺 主要功能： 實現/寸存儲器晶圓的三溫測試，是存儲器芯片晶圓測試過程中的全自動探針臺設備，可以提供晶圓自動比對功能，和針痕自動檢測、自動機械走步；提供高低溫測試環境，可以高效的進行晶圓可靠性測試分析。 采購標的數量：臺 質量要求： 、適用于寸 晶圓測試； 、測試對象針對整片中的每一個； 、包括電壓、電流、時序和功能的驗證。 服務、安全、時限等要求： 提供設備驗收合格后年質保。提供符合現場實際情況的設備安裝方案。設備訂單生成后年內交貨安裝完成。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。