掩模圖形缺陷修復設備 項目所在采購意向： 中國科學院光電技術研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院光電技術研究所 采購項目名稱： 掩模圖形缺陷修復設備 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 工藝試驗機 采購需求概況 ： 該設備主要用于掩模圖形缺陷的修復，通過聚焦離子束的物理刻蝕或輔助沉積，實現掩模圖形缺陷的定點減材或增材修復。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。