原子層刻蝕系統 項目所在采購意向： 北京大學年月政府采購意向 采購單位： 北京大學 采購項目名稱： 原子層刻蝕系統 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電子工業生產設備 采購需求概況 ： 碳基柵疊層項目是為推動碳基芯片的發展而設立，針對碳納米管襯底的半導體器件，由于碳納米管直徑在幾個納米的范圍，在等離子的轟擊下很容易被破壞，感應耦合原子層刻蝕系統憑借低離子損傷，高精度的刻蝕速率控制，最大程度上減小柵介質刻蝕過程對碳納米管的損傷。利用原子層沉積的模式精確地控制對介質的刻蝕速率，對氧化鉿、氧化鋁和氧化釔介質薄膜的刻蝕速率達到小于/,實現對高柵介質的高精度刻蝕,推動碳基集成電路的發展。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。