像素探測器芯片加工流片 項目所在采購意向： 中國科學院近代物理研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院近代物理研究所 采購項目名稱： 像素探測器芯片加工流片 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電子和通信測量儀器零部件 采購需求概況 ： 名稱：像素探測器芯片加工流片。 先導項目四開發高性能像素探測器芯片，需要委托乙方在.μ工藝上完成像素探測器芯片的加工流片，以驗證像素探測器芯片的實際性能。 . 工作條件： .. 適于在氣溫為攝氏-℃～＋℃的環境條件下工作； .. 電源電壓為./.。 . 規格、技術要求及參數： 工藝及器件的技術要求： .. .μ體硅工藝或更小技術節點； .. 支持.核心器件與. 器件； .. 支持高阻電阻，電容與頂層厚金屬（~.μ ）電感工藝； .. 支持四阱工藝：阱，深阱，阱，深阱，以滿足探測器像素與周邊電路的電學隔離，獲得更好的電離電荷俘獲效率與高信噪比； .. 支持高阻晶圓（~歐姆）或者高阻外延晶圓（&;歐姆，并且外延厚度&; μ）流片； .. 具備完整的（ ）庫，全程使用技術指導以及后期驗證輔助： .. 具備完整的數字電路標準單元庫，并且支持深阱工藝，以滿足探測器像素陣列與數字電路的電學隔離； .. 具備完整的單元庫，并且支持深阱工藝，以滿足探測器像素與的電學隔離； 在滿足上述工藝與器件要求的基礎上，進行一批次流片 .. 單個面積為 * ； .. 二合一光罩或普通光罩； .. 交付至少片裸。 二、售后服務要求：（其他） 質保期不少于年。 三、交貨期：合同簽訂后 日內交貨。 預計采購時間： - ....