無掩模激光直寫系統 項目所在采購意向： 南京大學年至月政府采購意向 采購單位： 南京大學 采購項目名稱： 無掩模激光直寫系統 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他試驗儀器及裝置 采購需求概況 ： 南京大學擬采購無掩模激光直寫系統一套，要求能夠利用特定波長的激光光源直接對涂有光刻膠的襯底材料進行特定能量的掃描式曝光，再配合后段的顯影工藝，讓圖形直接呈現于基板上，需包括光刻膠直寫功能、套刻功能和灰度加工功能。主要技術參數要求如下：光刻精度：最小分辨：；最小周期：；支持基板尺寸： *~*。質保期：自設備驗收之日起至少年。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。