產教融合創新平臺-下一代分子診斷中心-真空等離子鍵合儀采購 項目所在采購意向： 四川大學年月政府采購意向 采購單位： 四川大學 采購項目名稱： 產教融合創新平臺-下一代分子診斷中心-真空等離子鍵合儀采購 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 貨物,設備,電工、電子生產設備,電子工業生產設備 采購需求概況 ： 真空等離子鍵合儀臺： 腔體：**,進口電源德國,全自動匹配器：,，愛德華的干泵、真空度以下，愛德華真空計、英國沃威流量計-;西門子橫電極多層、路工藝氣體。 真空等離子鍵合儀是加熱玻璃和金屬（或者半導體）所組成的三明治結構，并且在此結構的兩端施加直流電壓。應用中最典型的鍵合材料是玻璃襯底和型硅襯底。具體的鍵合工藝方法有陽極鍵合、硅硅鍵合、金屬共晶鍵合、熱壓鍵合等等，主要用途是通過層疊襯底和硅片，產生立體的三維結構，以達到利用器件三維空間增加集成度或制造三維微型機械結構的目的。還可以實現微電子材料、光電材料及其納米等級微機電元件的電氣互聯、功能集成和器件封裝。設備功能多樣化且需要配置靈活，結構緊湊，可以多種功能于一體來實現不同工藝需求，設備指標領先，技術成熟，質量可靠，無環境風險，無安全風險。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。