為便于供應商及時了解政府采購信息，根據《河南省財政廳關于開展政府采購意向公開工作的通知》（豫財購【】號）等有關規定，現將鄭州大學 年（至）月采購意向公開如下： 序號 采購單位名稱 采購項目名稱 采購需求概況 預算金額（萬元） 預計采購時間 備注 鄭州大學 鄭州大學化工學院原子層沉積設備采購項目 臺式 系 統，在小巧的機身（ ） 中集成了原子層沉積 所需的所有功能，可最多容納 片 英寸基片同時沉積。 全系配備熱壁，結合前驅體瓶加熱，管路加熱， 橫向噴頭等設計，使溫度均勻性高達.%，氣流對溫度影 響減少到.% 以下。這種高溫度穩定性的設計不僅可以 在 英寸基體上實現膜厚均勻性優于%，而且更適合對 粉體、納米顆粒、復雜 微納結構進行均勻薄膜沉積，還 可實現對 : 長徑比微納深孔內部的均勻沉積。 . 年月 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。 鄭州大學 年月日