反應離子刻蝕機 項目所在采購意向： 中國科學院西安光學精密機械研究所年月政府采購意向 采購單位： 中國科學院西安光學精密機械研究所 采購項目名稱： 反應離子刻蝕機 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 工藝試驗機 采購需求概況 ： 反應離子刻蝕機廣泛應用于半導體器件、電力電子器件、光電子、太陽能電池、微機械等領域。是微米納米器件制備的必備設備。隨著大規模集成電路制造朝著更高集成度、更小關鍵尺寸以及更大晶圓半徑的方向發展，對刻蝕工藝的精度要求越來越高，所以濕法刻蝕的圖形保真性不理想、刻蝕線寬難以控制、表面粗糙等不適用于小尺寸器件刻蝕工藝，而刻蝕具有很好的各向同性，可以加工更加精密的器件，能夠保證細小圖形轉移后的保真性，同時根據不同工藝要求，通過改變刻蝕氣體比例、真空室內部壓強、射頻功率、溫度等能夠很好的控制側壁的粗糙度、陡直度、刻蝕速率等，因此，刻蝕機對微納器件制備至關重要。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。