電子束沉積系統 項目所在采購意向： 中國科學院半導體研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院半導體研究所 采購項目名稱： 電子束沉積系統 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業生產設備 采購需求概況 ： 電子束蒸鍍系統可用于各類金屬和氧化物的沉積，是制造半導體器件的關鍵設備，對于項目中各類實驗的開展具有至關重要的作用 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。