分區域鈍化研究平臺 項目所在采購意向： 中國科學院上海技術物理研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院上海技術物理研究所 采購項目名稱： 分區域鈍化研究平臺 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他儀器儀表 采購需求概況 ： 平臺應至少包括以下腔室：氧化硅磁控濺射腔室、硫化鋅磁控濺射腔室、離子束刻蝕腔室和樣品交換腔室。其中，樣品交換腔室位于平臺中央位置，其余腔室呈環形排布，利用中央真空機械手在各腔室之間進行樣品轉移；平臺需設計過渡接口，能夠與設備前端模塊（）進行互聯以進行樣品轉移和交接。樣品尺寸基于直徑英寸。樣品的全部工藝均應保證樣片溫度不高于攝氏度。所有腔室樣品臺的制冷與泵、靶臺的制冷分開；樣片傳輸平穩，可靠，不得有掉片、卡片、傾覆、磕碰等情況。工藝過程及樣品傳輸過程自動運行，無需人工干預。平臺各工藝腔室配置獨立的、工控機、控制軟件。各工藝腔室既可作為芯片自動化制造系統的一部分進行自動運行，也可以作為單獨工藝點獨立使用。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。