設備轉接系統 項目所在采購意向： 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所 采購項目名稱： 設備轉接系統 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 真空應用設備 采購需求概況 ： 設備轉接系統是實現工藝設備對接到超高真空管道上的過渡設備，具有真空環境過渡和樣品傳輸等功能，要實現的功能和技術指標如下： 、極限真空：≤×- ，真空檢漏漏率：≤×- ./。 、實現原設備與超高真空管道真空環境過渡，若設備對接腔體極限真空度≥.×- ，轉接系統必須配置極限真空度≤.×- 的過渡腔體，并用插板閥隔斷超高真空腔體，并保證設備與轉接系統交換完樣品后，分鐘內過渡室腔體真空度恢復到≤×- ； 、 實現設備與管道之間樣品交換，交接位處樣品交接準確、閥門開啟靈活； 、傳輸樣品尺寸：英寸晶圓或者帶有小樣品的英寸圓形過渡托； 、實現英寸晶圓樣品翻面功能（晶圓樣品厚度為.~），并能實現樣品取下和安放到自帶圓環樣品托上。 、實現管道與轉接系統之間自動化樣品交接， 控制系統與管道的控制系統兼容，以及在總控系統、支線控制系統和單元控制系統上，實現三級人機交互界面上顯示和操控； 、配置必要的觀察窗、照明和烘烤帶； 、各個標準法蘭與現有的真空管道法蘭外觀一致。 預計采購時間： - 備注： 以實際公告為準 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。