為便于供應商及時了解政府采購信息，根據《財政部關于開展政府采購意向公開工作的通知》（財庫〔〕號）等有關規定，現將本單位年月至年月采購意向公開如下： 序號 采購項目名稱 采購需求概況 落實政府采購政策情況 預算金額(元) 預計采購時間 備注 華南師范大學無掩膜紫外光刻機采購項目 標的名稱：無掩膜紫外光刻機 標的數量： 主要功能或目標：無掩膜紫外光刻機是半導體材料、器件與微納技術研究的重要工具，主要功能有掩膜版制作、光刻膠直寫以及多層套刻直寫等，其原理是利用特定波段的光源直接對涂有光刻膠的襯底材料進行曝光，配合后段的顯影工藝，讓圖形直接呈現于基板上的一種微納米制作技術。 需滿足的要求：光刻精度：至少支持兩個光刻鏡頭：光刻鏡頭：最小線寬≤. μ，工作距離≥ ；光刻鏡頭：最小線寬≤. μ，工作距離≥ ；同時支持步進式和掃描式光刻；具備交互式套刻指引功能；具備光學主動對焦功能；支持光刻鏡頭電動切換；數字掩模板分辨率：≥ * （高速），微鏡尺寸≤. ；支持樣品電動旋轉；具有原位光繪、物像綁定、成像拼接和畸變矯正功能。 按規定落實 ,,. 年月 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。 華南師范大學 年月日