金屬有機化學氣相沉積設備（舊） 項目所在采購意向： 年至月政府采購意向 采購單位： 采購項目名稱： 金屬有機化學氣相沉積設備（舊） 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 真空獲得設備 采購需求概況 ： 數量臺，主要技術要求如下： 、生長基材料； 、設備配套有傳送腔，反應腔，真空泵，氣體輸運管道，水冷、升溫及溫度控制、反應實時監控等； 、反應腔有個，可通過機械手內部傳片。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。