離子束刻蝕系統 項目所在采購意向： 華南理工大學年月政府采購意向 采購單位： 華南理工大學 采購項目名稱： 離子束刻蝕系統 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他電工、電子生產設備 采購需求概況 ： 離子束刻蝕系統主要用于芯片制造過程中的各種材料，特別是金屬材料等的刻蝕。需要滿足寸及以下晶圓和小片刻蝕；配備采用 離子源，刻蝕均勻性優于 %；載片臺具備背 氣體冷卻裝置，自轉轉速可調；包含進樣室；具備終點檢測功能。設備穩定性和可重復性好，刻蝕速率可精確調控。設備維護簡單，保修期不低于年。 預計采購時間： - 備注： 歡迎供應商提供相關產品或服務信息，產品資料可發送至采購人郵箱：@..，郵件標題：“*****采購意向推薦產品”,聯系電話：-。 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。