離子注入機 項目所在采購意向: 西安交通大學年至月政府采購意向 采購單位: 西安交通大學 采購項目名稱: 離子注入機 預算金額: .萬元(人民幣) 采購品目: 其他分析儀器 采購需求概況 : 對樣品表面進行元素摻雜改性。 常用于半導體材料中雜質的控制和改變材料導電性能和電子結構;修復納米加工過程中因蝕刻過程中產生的損傷或缺陷,提高器件的加工質量和可靠性;改變材料表面的化學成分、結構和性質,從而實現(xiàn)對材料表面硬度、耐腐蝕性、潤滑性等方面的改良。 預計采購時間: - 備注: 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。
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