高功率非晶態材料沉積系統 項目所在采購意向： 南京理工大學年月政府采購意向 采購單位： 南京理工大學 采購項目名稱： 高功率非晶態材料沉積系統 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 真空應用設備 采購需求概況 ： 設備主要參數要求：主要技術指標：極限真空度≤- ；分子泵抽氣速率≥ /；真空漏率≤- ？/；靶材尺寸和數量：英寸、只；濺射功率：直流電源數量臺、功率≥，射頻電源數量臺、功率≥，要求搭載負偏壓；樣品臺可加熱溫度：-℃，控溫精度≤ 度，可在-轉/分連續可調；控制精度：薄膜均勻性優于±%；系統需配有薄膜厚度實時監測儀和三路流量控制計，可通氬、氧、氮三路氣體。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。