為便于供應商及時了解政府采購信息,根據《財政部關于開展政府采購意向公開工作的通知》(財庫〔〕號)等有關規定,現將浙大寧波理工學院年月高真空磁控濺射系統采購意向公開如下:
采購單位
浙大寧波理工學院
采購項目名稱
大尺寸高真空磁控濺射系統
預算金額(元)
.
是否面向中小企業
面向中小企業
落實政府采購政策功能情況
落實政府采購相關政策
預計采購時間
年月
采購需求概況
標的名稱:大尺寸高真空磁控濺射系統數量/單位:臺預算金額(元):.
采購目錄:電子工業生產設備
需實現的主要功能或者目標:空載腔體極限真空度:≤- ,漏率≤- ?/;平面陰極:*,套,分別用于套金屬氧化物和一套金屬靶材,靶頭水冷系統;射頻電源 ,套,直流電源 ;膜厚均勻性: 半片內,≤%@,%@;工藝溫度:-;靶基距離:-可調;基片架:可放置半片片及其它規格小尺寸片子。
需滿足的質量、服務、安全、時限等要求:(一)保證提供的產品為全新,質量檢測合格,質保期年 ;(二)免費提供安裝調試、人員培訓、軟件升級等服務,售后服務響應及時;(三)保證正常使用時的安全;(四)時限要求:供貨期個月左右。
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