寸等離子增強氣相沉積 項目所在采購意向： 東南大學年至月政府采購意向 采購單位： 東南大學 采購項目名稱： 寸等離子增強氣相沉積 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 熱處理設備 采購需求概況 ： 具有三個以上英寸晶圓沉積腔，可實現液體源的導入，可沉積,,等薄膜，英寸晶圓片內不均勻度小于%。 預計采購時間： - 備注： -熱處理設備 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。