深圳技術大學教學線器件圖形化結構制作設備意向公開 采購單位: 深圳技術大學 項目名稱: 教學線器件圖形化結構制作設備 預算金額（元）: ,,. 采購品目: 其他儀器儀表 采購需求概況: 、 接觸式雙面光刻機. 曝光面積：英寸；. 光源：紫外，曝光波長：：-/；. 分辨率：；對準精度：±.（雙面，片厚.）±.（單面）、潔凈烘箱. 容 積（）：雙腔體；. 溫度： ～ ℃多段程序控制。、勻膠烘膠一體機. 集成勻膠機及可編程熱板一體化設備； . 勻膠機樣品尺寸支持英寸（）圓晶及以下尺寸或碎片。含碎片、英寸、英寸、英寸、碎片托盤各一個；. 轉速范圍：-，轉速精度及重復性：±；單步轉動時間設置范圍：-，旋轉時間分辨率：；. 熱板可編程，樣品尺寸：為英寸（）圓晶及以下尺寸或碎片；控制溫度：室溫-℃。、顯影烘膠一體機. 集成顯影機及可編程熱板一體化設備；. 顯影機樣品尺寸：支持英寸（）圓晶及以下尺寸或碎片，含碎片、英寸、英寸、英寸鋁合金托盤各一個；. 轉速范圍：-，轉速精度及重復性：±；單步轉動時間設置范圍：-，旋轉時間分辨率：；. 自動顯影：路顯影液供給管路，路供給，路；. 可編程熱板樣品尺寸：為英寸（）圓晶及以下尺寸或碎片；控制溫度：室溫-℃，溫度均勻性：±.℃@范圍。、有機清洗臺. 超聲槽槽體材質：內槽：石英；外槽：；管件材質：/；溶液溫度：-±℃；. 槽槽體材質：聚丙烯（）；管件材質：/；溶液溫度：； . 水洗槽槽體材質：聚丙烯（）；管件材質：/；溶液溫度：；、冷藏柜. 體積大于；. 溫控范圍-....