低溫超深寬比反應離子刻蝕系統 項目所在采購意向： 中國科學院上海技術物理研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院上海技術物理研究所 采購項目名稱： 低溫超深寬比反應離子刻蝕系統 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他儀器儀表 采購需求概況 ： 低溫刻蝕深度：~ μ；最小特征尺寸：~ ；晶圓內的均一性&;%； 刻蝕深度：~ μ；最小特征尺寸： μ；晶圓內的均一性&;%； 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。