吋晶圓級等離子體增強化學氣相沉積 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 吋晶圓級等離子體增強化學氣相沉積 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業生產設備 采購需求概況 ： 項目設計制備具有多種元素摻雜的無定形碳化物薄膜介質材料來替代傳統二氧化硅介質材料，通過在介質界面處形成蓄水池結構，從而有效抑制水汽等副產物帶來的孔洞問題。此外，芯片的多層堆疊需要涉及帶有臨時鍵合膠的薄晶圓沉積工藝，要求沉積溫度低于℃，晶圓制造段設備主要用于氧化物沉積無法滿足三維異質異構集成所需薄膜種類和沉積溫度需求，項目承擔單位目前無相關設備，因此急需要購置本設備用于三維異質異構集成技術開發。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。