減壓硅鍺外延設(shè)備 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 減壓硅鍺外延設(shè)備 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 采購(gòu)減壓硅鍺外延設(shè)備臺(tái)，該設(shè)備主要用于面向高性能的晶體管研發(fā)需要的同時(shí)引入型與型鍺硅源漏及高遷移率鍺硅溝道，在同一硅片上分別為、溝道提供應(yīng)力，并形成高遷移率的不同摻雜的鍺硅溝道。以及器件原位摻雜源漏區(qū)域的單晶材料制備。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。