二維半導體設備 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 二維半導體設備 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業生產設備 采購需求概況 ： 采購八英寸晶圓級二維材料金屬有機化學氣相沉積設備臺，具備絕緣襯底上（藍寶石、二氧化硅）生長 英寸晶圓級二維半導體材料（主要是過渡金屬硫化物）及其異質結的工藝能力，且尺寸可向下兼容；生長出的材料均勻度 &;%, 缺陷密度 &;* -，單一晶疇取向，可重復性高；設備配備兩個腔室淋浴噴頭，無腔室前預反應；具備多溫區加熱和旋轉，加熱范圍 - 攝氏度。目前先導中心沒有這類設備，無法滿足項目的研制需求，故需要專門配置購置。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。