透射電子顯微鏡()、聚焦離子束顯微鏡()以及二次離子質譜()等半導體測試分析 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 透射電子顯微鏡()、聚焦離子束顯微鏡()以及二次離子質譜()等半導體測試分析 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -技術測試和分析服務 采購需求概況 ： 微電子研究所先導工藝研發中心主要承擔集成電路先進器件與關鍵工藝的研發工作，先進工藝與器件的研發過程中，需要大量使用例如（透射電子顯微鏡）、（聚焦離子束）等先進的物理分析手段進行物理結構表征，以及例如（二次離子質譜）、（能量散射型射線熒光光譜）等先進的成分分析手段進行元素分布表征，先導中心不具備分析測試能力，需要委外進行。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。