深圳技術大學教學線功能薄膜材料制備設備意向公開 采購單位: 深圳技術大學 項目名稱: 教學線功能薄膜材料制備設備 預算金額（元）: ,,. 采購品目: 其他儀器儀表 采購需求概況: 、貼片固態源擴散爐. 爐管適配晶圓尺寸：英寸及以下圓片，產量≥片/批. 爐體及工藝管：爐體內徑（三段控制）：≥φ；石英管直徑：≥φ；爐體：溫度 ℃～℃； . 均熱區長度及精度：℃≤工作溫度≤℃-±.℃；工作溫度≤℃-±℃；升溫時間(從室溫升至℃)-≤。、快速退火爐. 樣片尺寸：英寸圓片及向下兼容；加熱溫度范圍:室溫~℃，加熱方式:鹵素燈管；. 升溫速率：≥℃/裸晶圓；≥℃/碳化硅載盤；. 溫度均勻度: ＜℃，均勻度≤±℃;≥℃，均勻度≤±%，溫度控制重復性:±℃，恒溫持續時間:可依據要求編程；. :路，氧氣、氮氣或氬氣。、等離子增強化學氣相沉積. 樣片尺寸：英寸圓片及向下兼容；. 反應腔室：電容耦合等離子體模式；一體化加工腔室,進氣方式：噴淋頭進氣；. 薄膜均勻性±%；. 真空系統：羅茨泵和機械泵組合，真空測量：薄膜規，反應腔室真空度小于；. 氣路系統：路進氣，、、、、、、或, 數字流量計； 管路配件； . 射頻系統：射頻功率源，自動匹配；. 溫度控制：載片臺溫度≤℃，溫控精度± ℃。、磁控濺射臺. 樣品基臺：直徑英寸樣品，滿足多個小基片同時處理；. 反應腔室：不銹鋼材質，傳輸腔鋁一體加工，自動傳輸；. 靶座系統：英寸圓形靶座個，位于腔室下部；. 真空性能：本底真空優于.-，真空系統：分子泵，機械泵；. 氣路系統：標配路進氣，和；. 電源系統：/.自動匹配射頻源套；直流源套；.....