無掩膜直寫光刻系統 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 無掩膜直寫光刻系統 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業生產設備 采購需求概況 ： .單重直寫分辨率；×有效直寫面積；標配波長高性能直寫光源；可增配選件-,升級波長光源至波長光源；最大適用于寸晶圓 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。