英寸晶圓 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 英寸晶圓 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業生產設備 采購需求概況 ： 采購標的名稱：英寸晶圓。采購標的主要功能：主要用于小尺寸 器件的及適配氧化物薄膜材料的生長。主要目標：薄膜片內均勻性小于%；薄膜片間均勻性小于%；晶圓尺寸： 。采購數量：臺 。采購標的所需質量：英寸片內生長薄膜均一性、可靠性高，片間薄膜生長厚度重復性好。設備兼容熱法和射頻兩種模式生長。服務、安全、時限要求：提供設備驗收合格后年質保。提供符合現場實際情況的設備安裝方案。設備訂單生成后年內交貨安裝完成。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。