高密度等離子體化學氣相沉積設備 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 高密度等離子體化學氣相沉積設備 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業生產設備 采購需求概況 ： 采購高密度等離子體化學氣相沉積設備臺，面向高密度器件研發需要同時引入多層互連，沉積的薄膜可以滿足后段互連的絕緣層隔離要求 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。