高精度掃描電子顯微鏡 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 高精度掃描電子顯微鏡 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -掃描儀 采購需求概況 ： 采購標的名稱：高精度掃描電子顯微鏡。采購標的主要功能：通過電子與樣品相互作用產生的二次電子、背散射電子等對樣品表面或斷口形貌進行觀察和分析。主要目標：電子源尺寸小于，能量擴展范圍小于. 分辨率：.（）, .（，非減速），.（，減速*），. (，)；采購數量：臺 。采購標的所需質量：放大倍率： ：×~,,×（以底片輸出計算方式） ：×~,×（以底片輸出計算方式） 可靠性高 易操作 。服務、安全、時限要求：提供設備驗收合格后年質保。提供符合現場實際情況的設備安裝方案。設備訂單生成后年內交貨安裝完成。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。